Mikrotöötlustehnoloogia on väga paindlik protsess, mille abil saab toota keeruka kujuga mikrokomponente. Lisaks saab seda rakendada paljudele materjalidele. Selle kohandatavus muudab selle eriti sobivaks kiireks tööks ideest prototüübini, keeruliste 3D-struktuuride tootmiseks ning iteratiivseks tootekujunduseks ja -arenduseks,
1. Füüsikaline mikrotöötlustehnoloogia
Laserkiire töötlemine: töötlemisprotsess, mis kasutab laserkiire poolt juhitavat soojusenergiat materjalide eemaldamiseks metallist või mittemetallist pindadelt. See sobib rohkem madala juhtivusega rabedate materjalide jaoks, kuid seda saab kasutada enamiku materjalide jaoks.
Ioonkiirte töötlemine: oluline ebatavaline tootmistehnoloogia mikro- / nanotootmise jaoks. Objekti pinnal olevate aatomite eemaldamiseks, lisamiseks või muutmiseks kasutab see kiirendatud ioonivoogu vaakumkambris.
2. Keemilise mikrotöötluse tehnoloogia
Reaktiivne ioonide söövitamine (RIE): plasmaprotsess, mille käigus ained ergastatakse RF-lahendusega, et söövitada substraate või kilesid madalpingekambris. See on keemiliste toimeainete ja suure energiaga ioonide pommitamise sünergiline protsess.
Elektrokeemiline töötlemine (ECM): meetod metallide eemaldamiseks elektrokeemiliste protsesside abil. Tavaliselt kasutatakse seda eriti kõvade materjalide või traditsiooniliste meetoditega raskesti töödeldavate materjalide suuremahuliseks tootmiseks ja töötlemiseks. Selle kasutamine on piiratud juhtivate materjalidega. ECM suudab kõvadesse ja haruldastesse metallidesse lõigata väikseid või ebakorrapäraseid nurki, keerulisi kontuure või õõnsusi.
3. Mehaaniline mikrotöötlustehnoloogia
Teemanttreimine: täppiskomponentide treimise või töötlemise protsess treipingi või tuletismasinaga, mis on varustatud loodusliku või sünteetilise teemantotsakuga.
Teemantfreesimine: lõikeprotsess, mida saab kasutada sfäärilise teemanttööriista abil ringlõikamise teel asfäärilise läätse massiivi loomiseks.
Täppislihvimine: abrasiivne töötlemine, mis võimaldab töödeldava detaili peene pinnatöötluse ja väga väikese tolerantsiga 0,0001 ".
Poleerimine: abrasiivtöötlus, argoonioonkiirega poleerimine on üsna stabiilne protsess, mida kasutatakse teleskoobipeeglite viimistlemiseks ja mehaanilise poleerimise või teemanttreimise optiliste seadmete jääkvigade parandamiseks. MRF-protsess on esimene deterministlik poleerimisprotsess. Turustada ja kasutatud asfääriliste läätsede, helkurite jms tootmisel.
